半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi)：
1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。
半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類(lèi)：
1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
可燃氣體檢測(cè)（報(bào)警）安全管理規(guī)定
1、報(bào)警器（探頭）的安裝率、使用率、完好率應(yīng)達(dá)到100%。
2、報(bào)警器（探頭）的功能、結(jié)構(gòu)、性能和質(zhì)量應(yīng)符合國(guó)家規(guī)定要求，達(dá)到安裝現(xiàn)場(chǎng)及現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)所要求的防爆等級(jí)。技術(shù)先進(jìn)，質(zhì)量穩(wěn)定，反應(yīng)靈敏，便于維修，受其它氣體的干擾小，受溫度、濕度影響小，符合國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求。
3、安全管理部門(mén)，使用部門(mén)要認(rèn)真制定報(bào)警器（探頭）的管理、檢查、報(bào)廢、更新、停用及驗(yàn)收制度，定期檢驗(yàn)和標(biāo)定制度，維修保養(yǎng)和檢修制度。
4、崗位操作人員必須熟悉報(bào)警器（探頭）的性能、原理，并能熟練操作。
5、在報(bào)警器（探頭）使用和管理中，由于玩忽職守造成事故或損失的公司和個(gè)人，視其情節(jié)給予嚴(yán)肅處理。
6、建立報(bào)警器使用、校驗(yàn)和維修保養(yǎng)記錄，加強(qiáng)管理。
(1)對(duì)于泄漏氣體密度小于空氣密度的介質(zhì)，應(yīng)將報(bào)警器安裝在泄漏點(diǎn)上；
(2)依據(jù)現(xiàn)場(chǎng)氣流方向、風(fēng)向等具體因素，判斷當(dāng)發(fā)生大量氣體泄漏時(shí)，可燃?xì)怏w的流動(dòng)方向。
(3)現(xiàn)場(chǎng)確定泄漏點(diǎn)的位置，分析泄漏點(diǎn)的泄漏壓力、方向等因素，標(biāo)出氣體探測(cè)器位置分布圖，便于以后安裝；
(4)研究泄漏點(diǎn)的泄漏狀態(tài)是微漏還是噴射狀。如果是微漏，則安裝位置就要靠近泄漏點(diǎn)一些。如果是噴射狀泄漏，則要稍遠(yuǎn)離泄漏點(diǎn)。綜合這些狀況，擬定出蕞終設(shè)點(diǎn)方案。
(5)依據(jù)泄漏氣體的密度(大于或小于空氣)，結(jié)合空氣流動(dòng)趨勢(shì)，從而確定下游位置作出初始設(shè)點(diǎn)方；
(6)對(duì)于存在較大可燃?xì)怏w泄漏的場(chǎng)所，根據(jù)有關(guān)規(guī)定每相距10—20m應(yīng)設(shè)一個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。對(duì)于無(wú)人值班的小型且不連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的泵房，需要注意發(fā)生可燃?xì)怏w泄漏的可能性；
(7)對(duì)于開(kāi)放式可燃?xì)怏w擴(kuò)散逸出環(huán)境，如果缺乏良好的通風(fēng)條件，也很容易使某個(gè)部位的空氣中的可燃?xì)怏w含量接近或達(dá)到爆i炸下限濃度，這些地方是不可忽視的安全監(jiān)測(cè)點(diǎn) ；
(8)對(duì)于氣體密度大于空氣的介質(zhì)，應(yīng)將檢測(cè)器安裝在低于泄漏點(diǎn)的下方平面上，并注意周?chē)h(huán)境特點(diǎn)。對(duì)于容易積聚可燃?xì)怏w的場(chǎng)所應(yīng)特別注意安全監(jiān)測(cè)點(diǎn)的設(shè)定。
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